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应用解决方案

半导体 · 电子

晶圆厂、芯片封装、TFT-LCD 光刻间 ISO Class 1–5 末端高效过滤,保障制程良率。

产品概览

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行业背景半导体晶圆制造、芯片封装与液晶面板生产对空气洁净度要求极为严苛,微粒污染会直接导致良率下降与缺陷率上升。按 ISO 14644 标准,光刻、刻蚀、沉积等关键工艺区需维持 ISO Class 1–5 的洁净环境,依赖末端高效过滤长期稳定运行。滤材应用方案创洁滤材为半导体厂房提供 H13–H14 级超细玻纤 / 熔喷滤材,适配 FFU 风机过滤单元、洁净天花模块与风道末端,过滤效率 ≥99.95% @MPPS,初阻力低、容尘量大,保障洁净度长期稳定。稳定的低出风阻力与批次一致性,帮助客户降低空调能耗、延长维护周期,满足晶圆厂 7×24 小时连续运行的高可靠性要求。

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